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エア・ウォーターが世界初の実用化レベル「SiC on Si基板」でGaN
https://www.sanpo-pub.co.jp/dg/2020/0421021596.html
2020-04-28 09:35:40
>SiとGaNは結晶親和性が低く、歪やクラック(結晶中の微小なひび割れ)の発生といった品質面での課題が存在していた。SiConSi基板の場合、GaNと結晶親和性が高いSiCが緩衝材となり、前述の歪やクラックといった課題をクリアし欠陥の少ないGaN層を形成するとともに、厚膜化にも対応でき、GaNパワートランジスタの低コスト化と高品質化に寄与する。
凄いぞGaN on SiC on Si基板6インチw半導体メーカよりガス屋さんが頑張っちゃった。
・朝タンクローリー走ってるのよく見るところだ
・http://gnews.x0.com/20190219_155041/この辺の続報?
・こういう宝探し&錬金術的な物性は日本強いのでちょっと期待